【仪器名称】X射线光电子能谱仪

【仪器品牌】日本ULVAC-PHI

【仪器型号】PHIGENESIS 500

【购置时间】2022年

【放置地点】综合楼203

【功能特色】

X射线光电子能谱仪是一种表面分析技术，主要用来表征材料表面元素及其化学状态。XPS仪器可提供多种测试模式，如全谱扫描、窄谱扫描、角分辨测试等。XPS可测量材料中除H、He以外所有表面元素的组成；XPS不仅可以确定元素的种类，还可以分析元素的化学状态，如化合价、化学键等；通过Ar离子刻蚀技术，可以逐层去除样品表面的物质，实现深度剖析，分析不同深度的元素组成和化学状态。另外，XPS具备扫描成像功能，可实现表面元素及其化学状态的二维分布的分析。

【主要技术指标】

1、能够执行点分析、线扫描、面分析、化学态成像、深度剖析、角分辨XPS;

2、分析室真空系统:分析室采用独立的分子泵和钛升华泵组合;

3、采用AlKa单色化X射线源，X射线源可聚焦及扫描;

4、X射线束斑直径调节范围不少于5μm至400μm，且连续可调，步长≤2μm;

5、可执行样品清洁和深度剖析功能;

6、使用电子束与离子束双束荷电中和，且电子束和离子束可独立调节。

【仪器图片】